使用示例

蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

◆壓力控制·減壓

◆壓力穩(wěn)定化

● 采用高耐腐蝕材料

● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗

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02 優(yōu)化設(shè)計

●盡量減少滑動部

● 膜片結(jié)構(gòu)的優(yōu)化

● 優(yōu)化材質(zhì)，實現(xiàn)平穩(wěn)動作

03 高密封性

有助于工藝穩(wěn)定化。

● 閥座部的優(yōu)化設(shè)計和超精密加工

● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側(cè)泄漏（流出）

04 高微小流量控制性

實現(xiàn)穩(wěn)定且平穩(wěn)的動作

● 閥座部形狀的優(yōu)化設(shè)計

● 微小流量下也可穩(wěn)定控制

05 減少遲滯

安全滿足目標壓力。

● 采用高品質(zhì)材料

● 超精密加工

06 豐富的產(chǎn)品陣容